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真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。
普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。
現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。
真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量僅為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。
在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：
分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）
半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）
光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）
真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）
真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）
泄漏檢測（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）
科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）
燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）
HiPace? 60 P
具有較高 64 l/s 對(duì)于 N2 抽吸能力的小型、高性能、無 Holweck 級(jí)別的渦輪分子泵
較小結(jié)構(gòu)形成的較低空間要求
集成的驅(qū)動(dòng)電子裝置，防護(hù)類型 IP54 適合于工業(yè)用途
集成的驅(qū)動(dòng)電子裝置，防護(hù)類型 IP 54 適合于工業(yè)用途
分類連接法蘭（入口）電子驅(qū)動(dòng)單元I/O 接口內(nèi)置式電源訂單號(hào)
HiPace? 60 PDN 63 ISO-K帶有 TC 110RS-485, 遠(yuǎn)程PM P04 000
HiPace? 60 PDN 63 ISO-K帶有 TC 110 RSRS-485, 遠(yuǎn)程PM P04 693
HiPace? 60 P，具有 TC 110，DN 63 ISO-K
用于在所有情況下的安裝
簡單、可靠的系統(tǒng)集成
工藝過程適宜，即耐灰塵
廣泛的配件擴(kuò)展使用范圍
具有較高 64 l/s 對(duì)于 N2 抽吸能力的小型、高性能、無 Holweck 級(jí)別的渦輪分子泵
集成驅(qū)動(dòng)電子裝置 TC 110
技術(shù)參數(shù)| 2707-Operating voltage: V DC | 24 (± 5 %) V DC |
| Ar 的壓縮比 | 2 · 106 |
| Ar 的抽速 | 63 l/s |
| Ar 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 0.83 hPa l/s | 0.62 Torr l/s | 0.83 mbar l/s |
| H2 的壓縮比 | 2 · 102 |
| H2 的抽速 | 28 l/s |
| H2 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 55 hPa l/s | 41.25 Torr l/s | 55 mbar l/s |
| He 的壓縮比 | 3.5 · 102 |
| He 的抽速 | 48 l/s |
| He 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 55 hPa l/s | 41.25 Torr l/s | 55 mbar l/s |
| I/O 接口 | RS-485, 遠(yuǎn)程 |
| N2 的壓縮比 | 1 · 106 |
| N2 的抽速 | 64 l/s |
| N2 的較大預(yù)真空 | 4 百帕 |
| N2 的較終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 9.2 hPa l/s | 6.9 Torr l/s | 9.2 mbar l/s |
| 不帶氣鎮(zhèn)的較終壓力 | < 1 · 10-6 百帕 |
| 允許冷卻水的溫度 | 5 – 25 °C 攝氏度 |
| 冷卻水消耗較小值 | 75 l/h |
| 冷卻水耗量 | 75 l/h |
| 冷卻類型，可選項(xiàng) | 空氣/水 |
| 冷卻類型，標(biāo)準(zhǔn) | 對(duì)流 |
| 聲壓水平 | ≤48 dB(A) 分貝 (A) |
| 安裝方向 | 任何 |
| 排氣連接 | G 1/8" |
| 方位 | 混合動(dòng)力 |
| 較大允許磁場 | 4 mT |
| 根據(jù) PNEUROP 的較終壓力 | < 1 · 10-6 百帕 |
| 電子驅(qū)動(dòng)單元 | 帶有 TC 110 |
| 電流較大值 | 4,6 A |
| 耗電量 max. | 110 瓦 |
| 轉(zhuǎn)速 ?± 2 % | 90,000 rpm | 90,000 min-1 |
| 轉(zhuǎn)速可變化 | 50 – 100 % |
| 運(yùn)行時(shí)間 | 1 分 |
| 連接法蘭（入口） | DN 63 ISO-K |
| 連接法蘭（出口） | DN 16 ISO-KF/G ?" |
| 重量 | 2.2 千克 |
| 防護(hù)等級(jí) | IP54 |
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