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?? 為了更好地考慮極高真空泵分壓力精確測量的應(yīng)用規(guī)定，作業(yè)者應(yīng)依據(jù)質(zhì)譜計關(guān)鍵性能指標(biāo)? 挑選適度的儀器設(shè)備。真空泵質(zhì)譜計的性能指標(biāo)一般包含：質(zhì)量范圍、分辨本領(lǐng)、分壓力? 敏感度、較少可檢分壓力、較大 工作中壓力、掃描速率和較少可檢濃度值等項。? (1)質(zhì)量范圍? 質(zhì)量范圍就是指質(zhì)譜記到具備一定敏感度和分辨本領(lǐng)的標(biāo)準(zhǔn)下，儀器設(shè)備可以工作中的? 較少質(zhì)量數(shù)到較大 質(zhì)量數(shù)中間范疇，用質(zhì)量數(shù)M表明。質(zhì)量范圍的低限是用真空泵? 系統(tǒng)軟件殘留汽體的譜峰來明確，一般，采用分子態(tài)氫氧根離子的質(zhì)量數(shù)M=1u列入品質(zhì)? 范疇低限(較少質(zhì)量數(shù))。質(zhì)量范圍限制是用精確測量試品汽體譜來明確，試品汽體應(yīng)? 盡可能挑選含量(或相對原子質(zhì)量)貼近質(zhì)量范圍限制。在沒有適度試品汽體時，可依照? 質(zhì)譜計的品質(zhì)掃描主要參數(shù)和品質(zhì)平均誤差的關(guān)聯(lián)，依據(jù)掃描主要參數(shù)的標(biāo)值用外推方式測算? 出去
在極高直空分壓力精確測量中，質(zhì)借計此項指標(biāo)值的挑選是根據(jù)被測汽體成分而明確? 的，必須考慮到極高真空泵的殘留汽體和被檢試品汽體成分的含量尺寸2個要素。質(zhì)? 量范疇的低限應(yīng)確保對H2的M=1u的品質(zhì)峰靠譜精確測量質(zhì)量范圍限制的挑選根? 被測汽體的較大 質(zhì)量數(shù)明確，極高真空泵的殘留汽體精確測量的較大 質(zhì)量數(shù)挑選M=? 50u就可以了。假如必須檢驗甲苯、苯等少量殘留氣，儀器設(shè)備的質(zhì)量范圍限制應(yīng)挑選? M=100u,對氙氣的精確測量必須挑選質(zhì)諧計的質(zhì)量范圍限制M=150u
(2)分辨本領(lǐng)? 分辨本領(lǐng)是定性分析質(zhì)譜計辨別質(zhì)量數(shù)M和M+△M2個鄰近質(zhì)譜峰的工作能力，通? 常見M/△M表明，△M被稱作肯定屏幕分辨率，用質(zhì)量數(shù)M峰的某高寬比處的峰的總寬表明。真空泵質(zhì)譜計一般在10%或50%峰高空精確測量△M。? 用以極高超濾裝置分壓力精確測量對分辨本領(lǐng)規(guī)定不高，一般△M=1(10%峰? 高)就可以了。為了更好地簡單化定量分析精確測量用峰高意味著該成分抗壓強度，規(guī)定質(zhì)諧計在質(zhì)量范圍內(nèi)為恒峰寬，即分辨本領(lǐng)△M穩(wěn)定。
(3)分壓力敏感度(敏感度)? 質(zhì)譜計敏感度界定為：輸出離子流變化量△I除于造成這類轉(zhuǎn)變的汽體分壓力轉(zhuǎn)變值△P。敏感度的表明方式有二種：? 第一種方式選用企業(yè)壓力的離子流表明，企業(yè)為A/Pa,該方式是固定不動一定發(fā)送電流量，數(shù)不勝數(shù)值；? 第二種方式選用企業(yè)搜集電子流和企業(yè)壓力的離子流表明，企業(yè)為1/Pa。? 一般質(zhì)譜計敏感度和分辨本領(lǐng)、掃描速率等別的主要參數(shù)相關(guān)，因而精確測量質(zhì)譜計靈? 敏度時要要求質(zhì)譜計工作中主要參數(shù)。除此之外，敏感度遭受電級環(huán)境污染、倍增器增益值衰減系數(shù)、燈? 絲部位轉(zhuǎn)變的危害而轉(zhuǎn)變，因此 在開展分壓力精確測量時，務(wù)必對敏感度開展按時校? 準(zhǔn)。極高真空泵分壓力精確測量應(yīng)盡可能挑選敏感度高的質(zhì)譜計。
(4)較少可檢分壓力? 此項指標(biāo)值標(biāo)征質(zhì)譜計敏感度、離子流檢驗、離子流紀(jì)錄等綜合能力。一般用公

式(4-14)來表明。? (4-14)? Pin=2IN/S

式中 Pmi? 較少可檢分壓力? ⅠN—離子流監(jiān)測系統(tǒng)紀(jì)錄到的本底噪音，A;? S質(zhì)譜計敏感度，A/Pa。? 噪音是由虛報的輸出標(biāo)示造成的零輸出基準(zhǔn)線的迅速轉(zhuǎn)變，噪音能夠依據(jù)要求進
一般質(zhì)諧計較少可檢分壓力的性能指標(biāo)和正離子搜集方法相關(guān)。選用法拉第筒收? 行檢測? 集和倍增器搜集的質(zhì)譜計，可得出2個較少可檢分壓力標(biāo)值：一個為法拉第正離子收? 集方法下較少可檢分壓力；另一個為倍增器正離子搜集方法下較少可檢分壓力。增長? 器搜集的較少可
的品質(zhì)分離出來作用、離子源具備一定的正離子產(chǎn)額、鎢絲能夠一切正常工作中，? 壓力關(guān)聯(lián)有很大線形偏移。對用以分壓力精確測量的質(zhì)譜計，較大 工作中壓力被界定為? 在壓力范疇內(nèi)，離子流與壓力呈線型關(guān)聯(lián)。極高真空泵精確測量質(zhì)問誚計此項指標(biāo)值規(guī)定不

嚴(yán)苛。
(6)掃描速率? 根據(jù)更改品質(zhì)掃描主要參數(shù)，使質(zhì)譜記到全部質(zhì)量范圍內(nèi)開展品質(zhì)掃描。掃描速率? 可以用單位時間內(nèi)得到 的質(zhì)量數(shù)(u/s)表明，還可以用掃描一個品質(zhì)所需時間? (s/u)來表明。質(zhì)譜計掃描速率和解析器的工作類型及相對的電子器件操縱路線有非常大? 關(guān)聯(lián)，如航行時間質(zhì)譜計是依據(jù)說白了“渡越時間”的基本原理開展品質(zhì)分離出來的，在老秒? 或更短期內(nèi)內(nèi)，能夠進行一次譜峰掃描。而磁偏轉(zhuǎn)真空泵質(zhì)譜計，品質(zhì)掃描是根據(jù)改
變正離子導(dǎo)入工作電壓完成的，工作電壓值一般為好幾千伏，因而掃描速率不可以太快。四極質(zhì)諧
計品質(zhì)掃描是根據(jù)更改釋放在電級上高頻率工作電壓幅度值完成的，具備迅速的掃描速率? 作業(yè)者應(yīng)依據(jù)實際應(yīng)用目地挑選儀器設(shè)備此項指標(biāo)值。
(7)較少可檢濃度值
此項指標(biāo)值是定性分析質(zhì)譜計對混合氣中可精確測量到某類較少成分的主要參數(shù)，一般用壓? 力成績P小/P全來表明。式中的P為混合氣中某類成分的較少分壓力，p全? 為混合氣的全壓力。在一些獨特應(yīng)用的場所中，規(guī)定質(zhì)譜計能得出某類汽體成分? 的摩爾分?jǐn)?shù)或壓力成績(濃度值),如室內(nèi)空間原材料在室內(nèi)環(huán)境排氣特性精確測量中，對一些? 有害物質(zhì)濃度值檢驗期待檢驗到有害物質(zhì)的摩爾分?jǐn)?shù)低于1×106(1ppm)。這時儀? 器的使用人應(yīng)將較少可檢濃度值的指標(biāo)值做為關(guān)鍵考慮到根據(jù)。需注意挑選在大正離子峰? 周邊檢驗細(xì)微數(shù)據(jù)信號峰具備優(yōu)良作用的儀器設(shè)備
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