擴散泵油對擴散泵性能的危害尤為重要。理想化的擴散泵? 敞泵油? 油應(yīng)飽和蒸氣壓低化熱低、工作中平穩(wěn)、高溫下不溶解、不消化吸收汽體、有機化學(xué)性能平穩(wěn)(兩者之間觸碰的原材料? 不了反映)、安全性無毒性,可是直到現(xiàn)階段,都還沒研制開發(fā)出這類理想化的切削液。液態(tài)水銀是? 唯一的能用做泵液的氫氧化物物質(zhì),它具備有機化學(xué)性能平穩(wěn)、不溶解、不融解汽體、氣化? 熱小、加溫輸出功率劣等優(yōu)勢,較大 的缺陷是蒸汽壓過高,室內(nèi)溫度下(300K)的飽和狀態(tài)蒸? 標(biāo)準(zhǔn)氣壓達(dá)到.5×10-Pa,務(wù)必應(yīng)用冷阱收集才可以用以高真空、極高真空。選用液態(tài)氮? 冷阱,也要考慮到液態(tài)水銀在冷阱上的冷藏難題,假如長期性持續(xù)幾日運行,就很有可能將加熱爐? 中的液態(tài)水銀耗光而停止工作。此外,液態(tài)水銀有有毒,又能與一些金屬復(fù)合材料起反映,產(chǎn)生? 非常大的安全防范難題,現(xiàn)階段,除開一些科學(xué)研究組織在中小型夾層玻璃系統(tǒng)軟件選用液態(tài)水銀擴散泵以? 外,全部金屬材料油擴散泵所有選用石油分餾氮氧化合物和合成機油做為泵的切削液。? 當(dāng)代擴散泵的切削液有石油分餾氮氧化合物、脂類、聚硅氧烷及醚類。石油分餾的氮氧化合物油歸屬于輕原料油,生產(chǎn)制造低成本,質(zhì)優(yōu)價廉,但耐熱性、抗氧化性較弱,蒸汽壓較高,僅適用高真空泵。四苯基四羥基三硅氧烷(DC704)、五苯基羥基三硅氧烷(DC705)、混和五環(huán)聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟? 甲基丙烯酸酯( Fomblin Y vac)是現(xiàn)階段運用數(shù)較多的極高真空擴散泵合成機油。? 表22得出了極高真空用擴散泵油的性能主要參數(shù)

高真空擴散泵油的另一個關(guān)鍵性能主要參數(shù)是它的催化裂解性能。泵工作中在高溫下? 會產(chǎn)生裂化,抗氧化能力差的泵油形成的高蒸汽壓裂解物,危害泵的極限工作壓力。若
因為偶然事故,高溫泵油短期內(nèi)曝露空氣時,抗氧化能力強的泵油能迅速修復(fù)原來性? 能,而抗氧化性會差的泵油,性能受到影響,乃至損毀。極高真空用擴散泵、必須長期性? 持續(xù)運行的擴散泵及其日循環(huán)系統(tǒng)頻次高的真空機器設(shè)備,都應(yīng)選用催化裂解小、抗氧化性能? 高的甲基硅油、聚苯醚等合成機油? 精確測量泵油的抗氧化性能,可在真空系統(tǒng)軟件內(nèi)短期內(nèi)不斷充進(jìn)空氣,直至泵不可以正? 常工作中時已經(jīng)。擴散泵油的抗氧化性能試驗頻次見表2-3。
從表2-3中數(shù)據(jù)能夠看得出,甲基硅油的抗氧化性能出色,安全性性能好, Solbrig曾? 將系統(tǒng)軟件內(nèi)氧氣工作壓力提升到1/2atm(1atm=101325Pa),應(yīng)用DC705和五環(huán)聚苯醚? 這二種油,都不容易造成發(fā)生爆炸。除此之外,甲基硅油耐溫性好、抽水蒸汽工作能力強、返油率低? 價錢適度,是極高真空油擴散泵較為理想的切削液。甲基硅油關(guān)鍵的缺陷是在電子器件、離? 子負(fù)電子標(biāo)準(zhǔn)下粘附在電級上的浮油會造成固態(tài)匯聚硬膜,危害電子元器件、電級的性? 能,并使真空水解規(guī)管數(shù)據(jù)誤差擴大。甲基硅油的爬移工作能力強,非常容易環(huán)境污染系統(tǒng)軟件。不可以使? 用甲基硅油的系統(tǒng)軟件中,可改成五環(huán)聚苯醚、癸二酸氫酯等油替代? 全氟甲基丙烯酸酯油( Fomblin)是由碳、氟和氧構(gòu)成的化學(xué)物質(zhì),不過氧化物和硅,具備低? 的蒸汽壓和優(yōu)良的潤化特點,耐熱性更強,熱裂解時既不容易形成氮氧化合物和氫,? 也不會形成硅化物絕緣層膜,與大部分腐蝕化工品不了反映,但在同樣加溫輸出功率條? 件下,泵效較五環(huán)聚苯醚低,而且價錢偏貴。其關(guān)鍵物理學(xué)性能見表2-4。
無論應(yīng)用那一種切削液,擴散泵工作中時必須需注意不可以放進(jìn)空氣,不然,氧? 化過的泵油,危害泵的極限工作壓力。比較嚴(yán)重空氣氧化的油,只靠泵本身的分餾功效,不可以恢? 復(fù)它的抽真空性能,必須完全清理擴散泵全部零件,所有拆換新油。常見清潔液,對? 空氣氧化比較嚴(yán)重的泵油可先后應(yīng)用十氫萘、甲苯和醫(yī)用乙醚開展清理或是應(yīng)用三氯乙烯、甲苯? 和醫(yī)用乙醚?？諝庋趸^輕則,用甲苯、醫(yī)用乙醚就可以清理整潔。聚苯醚油可溶解三氯乙烯,? 因為三氯乙烷毒副作用較三氯乙烯小,清理聚苯醚油時可改成三氯乙烷、甲苯和醫(yī)用乙醚? 全氟甲基丙烯酸酯油務(wù)必用氧化鉍劑(如三氯三氟己烷或全氟烷)開展清理。

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