設計方案一套方便使用而又工作中靠譜的超濾裝置,選擇主泵是個至關(guān)重要的問題。選擇主泵不可以只? 選泵及配泵? 追求完美某一項指標值,務必依據(jù)應用標準各個方面綜合性考慮到。超濾裝置選擇主泵的關(guān)鍵根據(jù)以下? ①滿載時真空室所必須做到的極限真空值? 依據(jù)真空室所必須創(chuàng)建的極限真空泵明確主泵的種類,選擇主泵的極限真空泵要比真空室的? 極限真空泵高,一般高一個半量級到一個量級? ②依據(jù)真空室開展加工工藝生產(chǎn)制造(或試驗)時需必須的壓力選主泵? 此項規(guī)定較為關(guān)鍵,因而規(guī)定可以把握主泵的較好抽速的工作壓力范疇,各種機械泵工作中壓? 力范疇及較好壓力。真空室的壓力一定要確保在主泵較好抽速工作壓力范疇內(nèi),所必須? 的主泵抽速由加工工藝生產(chǎn)制造中釋放的供氣量、系統(tǒng)軟件漏汽量及所必須壓力來明確。? 測算主泵的合理抽速? 依據(jù)真空室規(guī)定的壓力Pg,真空室的總氣體量Q,測算泵的合理抽速

Q(L/s)

(3-19)

式(319)中Q為真空室的總氣體量(Pa·L/s)。Q一般由三一部分構(gòu)成,即

(3-20? Q=Q1+Q2+Q3? 式中Q
真空室工作中全過程中造成的氣體量;? Q2真空室及真空泵元器件的放供氣量;? Q3真空室的總漏汽量? (2)明確主泵的抽速? 依據(jù)合理抽速S及其泵與真空室中間的聯(lián)接管路的流導U明確主泵的抽速Sp。由流? 串連公式計算有

SU

(3-20b)? 或是
由式(3-20a)由此可見,為了更好地擴大合理抽速S務必擴大流導U,因此聯(lián)接管路要短而粗。管路? 直徑不可以低于主泵人口數(shù)量直徑,現(xiàn)階段各種各樣超濾裝置抽真空管路的直徑一般相當于主泵通道直徑(獨特? 狀況可超過抽真空口的直徑,如:因為管路上設定冷阱,為擴大流導而使管路部分字體加粗)。? 吃。在預估主泵合理抽速時,一般將按式(3-19)測算出的主泵的合理抽速S擴大20%~? %或更高? 這主要是無論是分子結(jié)構(gòu)流、黏滯流的流導計算方法全是在假設氣體流動性理想化情況下,按穩(wěn)? 定的標準計算出去的,與具體的狀況有區(qū)別。因此,務必將測算出的合理抽速擴大? 依據(jù)抽氣體類型、成份、溫度及其氣體含灰殘渣狀況選主泵,蒸氣流泵對不一樣類型氣體? 的基礎理論抽速詳細表36。

注:1.蒸汽流泵或超低溫吸咐泵、離子泵、渦輪增壓分子泵等對不一樣類型的被抽氣體具備不一樣的抽真空速度,它是因為這種? 氣體要被抽除時,務必先根據(jù)氣體分子擴散健身運動抵達所述泵的抽真空面(口),不一樣氣體分子結(jié)構(gòu)的平均速率不一樣,導致了泵的? 抽速的差別,這一差別有時候是非常大的,在超濾裝置選擇及配置主泵時,務必考慮到這一要素,? 2表中值是依據(jù)擴散泵抽速的基礎理論公式計算得到的數(shù)值? 式中S—擴散泵為名抽速,m3/s? 被抽氣體分子結(jié)構(gòu)平均速率,m/s? —噴涌蒸汽分子結(jié)構(gòu)的平均速率,u一般取400M/s;? A—噴氣式飛機流的截面? 3.測算強調(diào):蒸汽流泵對相對性分子質(zhì)量小的氣體抽速大,對相對性分子質(zhì)量大的氣體抽速小,一般商品得出的抽速是? 對于氣體或N2的抽速。對低溫泵、分子泵、離子泵、吸咐泵等高線真空泵、極高真空泵手壓泵來講,他們的抽速也與被抽氣體? 分子結(jié)構(gòu)的平均速率相關(guān)。對N2的抽速SN2比應是
依據(jù)真空室對油環(huán)境污染規(guī)定的不一樣,來挑選有機油、隔膜真空泵或半無油真空泵作主泵。? 依據(jù)項目投資及平時維護保養(yǎng)運行的經(jīng)濟數(shù)據(jù)來挑選。? (3)前級泵的配備及抽速明確? 主泵選中以后,如何配置前級泵,需遵循的標準是? 規(guī)定前級泵導致主泵工作中需要的預真空泵標準? b.吸走主泵造成的較大 氣體量;? c.務必考慮主泵進風口能工作中的較大 工作壓力時所需的預擠時間規(guī)定。? 不一樣的主泵其前級泵配備各不相同,分述以下? ①蒸汽流泵前級配備該類泵包含油擴散泵、油外擴散噴射泵及其增擴泵等。在主泵容許的? 較大 排氣管工作壓力下
及泵需將主泵造成的較大 氣體量立即吸走,即前級泵的合理抽速務必考慮

(3-21)? So>? 前級泵的合理抽速,L/s,先由S4來明確前級泵的抽速,隨后再依據(jù)該抽速? 式中S
選中泵的種類;? pn主泵前級的臨界值前級工作壓力,Pa;? Qmx—主泵能夠排出來的較大 氣體量,Pa·L/s;? 主泵容許的較大壓力,Pa? S—主泵工作中在p。時的合理抽速,L/s? 在挑選前級泵時,應當留意真空泵的抽速是在大氣壓強下測出的,但一切正常應用的泵全是? 在小于大氣壓力的標準下運行,使梨的抽速降低了,因此務必依據(jù)抽速曲線圖來挑選系。若滑有? 抽速曲線圖,可參照經(jīng)驗公式定律
式中Sp
具體采用的前級泵的抽速;? S—測算規(guī)定的前級泵抽速? ②羅茨真空泵配備骨架密封真空泵羅茨真空泵其前級配備骨架密封真空泵時,前級泵的抽速由工作經(jīng)驗公? 式明確,即

(3-23)? 式中S,—前級泵的抽速,L/s? 羅茨真空泵的抽速? 式中指數(shù)挑選,一般抽速大的羅茨真空泵取小值,抽速小的選較大值? ③羅茨真空泵以水環(huán)泵為前級羅茨真空泵-水環(huán)泵發(fā)電機組,水環(huán)泵抽速挑選依據(jù)工作經(jīng)驗明確,即

SL? 式中S。水環(huán)泵的抽速,L/s;

(3-24)? SL——羅茨真空泵的抽速,L/s? ④羅茨真空泵串連發(fā)電機組羅茨真空泵串連發(fā)電機組,有二種配備方法:其一是羅茨真空泵羅茨真空泵-機械設備? 泵;其二是羅茨真空泵-羅茨真空泵水環(huán)泵。二種方法均是以一羅茨真空泵為主泵,而另一羅茨真空泵為前? 級,兩羅茨真空泵抽速關(guān)聯(lián)由工作經(jīng)驗明確,即

24? 式中S—前級羅茨真空泵抽速,L

25)? SL—主羅茨真空泵的抽速,L/s。
3.2真空泵系計? ⑤渦輪增壓分子泵前級配備渦輪增壓分子泵所配備的前級泵抽速,應考慮

Sp>

(3-26)? L? 前級泵的抽速? 式中S
渦輪增壓分子泵前級工作壓力,一般為2Pa;? P
較大 總流量,渦輪增壓分子泵穩(wěn)定抽速范疇為10-1~10-7Pa,故較大 總流量Q=x值應? Q
相當于101Pa下的抽速與該工作壓力之積? (4)粗抽泵抽速明確? 各種各樣低溫泵、超低溫吸咐泵(沒有碳分子篩泵)、磁控濺射離子泵、鈦泵等均必須在某類預真空泵? 下才可以起動。這時,系統(tǒng)軟件需要預抽泵的抽速不但與真空室容量相關(guān),另外與所需定的預抽時? 間相關(guān)。預抽泵的抽速用上式測算

V
g? 3K? 式中
設置預擠時間? 力系統(tǒng)軟件中預真空泵工作壓力,Pa? 其他標記同式(3-15)。? 針對大中型超濾裝置,用主泵配備的前級泵做為粗抽泵時不可取。由于有時候為了更好地減少粗抽? 時間,前級泵需配備很大,長期性運作能耗很高,很不經(jīng)濟發(fā)展。因此,大中型系統(tǒng)軟件均裝有專用型的粗? 抽泵。其抽速測算同式(3-27)