真空設(shè)備的泄漏檢測方法和可用的檢測儀器種類繁多。根據(jù)所使用的儀器類型，可分為鹵素泄漏檢測方法、氦質(zhì)譜泄漏檢測方法等類型的泄漏檢測方法。壓力泄漏檢測方法和真空泄漏檢測方法可根據(jù)泄漏檢測真空室的不同狀態(tài)進(jìn)行劃分。本文主要分析了真空的后一種分類方法，列出了具體的泄漏檢測方法類型及其相應(yīng)的較小泄漏檢測率。

真空鍍膜設(shè)備

一、壓力檢漏法

將一定壓力的泄漏物質(zhì)充入檢測真空室。如果真空室上有泄漏，泄漏物質(zhì)將從泄漏孔中泄漏。用一定的儀器或方法檢測真空室外泄漏的泄漏物質(zhì)，以確定泄漏的存在、具體位置和泄漏大小。目前，壓力泄漏檢測方法的真空系統(tǒng)泄漏檢測方法包括：

1、水壓法。水壓法較小可檢漏率為1.3-5.3×10??Pa?L?s?1；

2、壓降法。壓降法的較小可檢漏率為1. a?L?s?1；

3、聽音法。聽音法較小可檢漏率為5. a?L?s?1；

4、超聲法。超聲法的較小可檢漏率為1. a?L?s?1；

5、氣泡法。氣泡法又分為水泡法和皂泡法，水泡法的較小泄漏率一般為102~10?a?L?s?1，24小時(shí)累時(shí)可達(dá)10小時(shí)2~10?a?L?s?1；皂泡法較小可檢漏率為6.7×10?a?L?s?1；

6、鹵素檢漏儀吸嘴法。鹵素檢漏儀吸嘴法較小可檢漏率為103~10??Pa?L?s?1；

7、氨檢漏法。氨檢漏法由于工作條件(充氣)不同，較小可檢漏率不同；

8、放射性同位素氣體法。放射性同位素氣體法的較小可檢漏率為1.3×10??Pa?L?s?1；

9、氦質(zhì)譜檢漏儀吸嘴法。氦質(zhì)譜檢漏儀吸嘴法的較小可檢漏率為10??~10??Pa?L?s?1。

二、真空檢漏法

由于檢測到的真空室和泄漏檢測裝置的敏感元件處于真空環(huán)境中，在檢測到的真空室外施加到的真空室外果檢測到的真空室有泄漏，泄漏材料將通過泄漏進(jìn)入真空室和泄漏檢測裝置的敏感元件區(qū)域，然后檢測到泄漏材料，從而檢測到泄漏的存在 確定位置及其尺寸。真空系統(tǒng)檢漏方法有：

1、真空檢漏法、真空檢漏設(shè)備包括熱偶或電阻真空規(guī)、電離真空規(guī)、熱傳導(dǎo)真空規(guī)差組合、電離真空規(guī)差組合、熱傳導(dǎo)規(guī)、液氮冷卻活性炭陷阱、冷陰極電離規(guī)、液氮冷硅膠陷阱等。較小泄漏率低至101oPa?L?s?1，高至10?a?L?s?1；

2、高頻火花檢漏法較小可檢漏率為1~10?1Pa?L?s?1；

3、放電管法的較小可檢漏率為1~10?1Pa?L?s?1；

4、靜態(tài)升壓法的較小可檢漏率為102~10?a?L?s?1；

5、氦質(zhì)譜檢漏法的較小可檢漏率為10??10?11Pa?L?s?1。

6、離子泵泄漏檢測方法的較小可檢泄漏率為10?較小可檢較小可檢較小可檢泄漏率為；

7、鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法較小可檢漏率為10~4×10?；

8、氫-鈀法較小可檢漏率為10~10??Pa?L?s?1；

三、放射性同位素法、熒光法等真空設(shè)備檢漏方法。