組合真空泵的修復(fù)方法類似于以前的一些故障修復(fù)方法。在某些情況下，維護Z165泵時，將詳細說明維護過程。這是油浸式組合泵，也有油封式，維護方法相似。例如：有一個Edward E2M275組合泵。使用兩年后，發(fā)現(xiàn)極限真空度降低，需要維修。

首先根據(jù)組合泵的拆卸和組裝步驟進行拆卸和清洗：拆卸端蓋，取出轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子，用汽油清洗去除雜質(zhì)，然后干燥，測量組件的尺寸公差，然后檢查磨損情況。通常，轉(zhuǎn)子非常磨損。在測量過程中，如果表面或端面磨損較多，但不超過公差，則只能去除毛刺。如果超過公差范圍，則應(yīng)更換新的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子槽類似于轉(zhuǎn)子，有時會嚴重磨損。如果在4到5根導(dǎo)線中，可以用細文件輕輕校正，使轉(zhuǎn)子槽兩側(cè)平行。如果磨損過大，必須更換轉(zhuǎn)子或改變厚度。然后，用內(nèi)千分尺測量兩個腔（兩個）的內(nèi)徑，并檢查泵腔是否有錐度。

如果錐度較小，可以使用周圍的刀。如果錐度較大，則必須使用內(nèi)圓。精度應(yīng)為V8.然后，圓的端面應(yīng)與間隙相匹配。槽稍微張開，兩端之間的距離大于0.00毫米。更換新的旋轉(zhuǎn)刀片后，必須比原來的旋轉(zhuǎn)刀片稍厚。因此，在修復(fù)轉(zhuǎn)子槽后，只需適當?shù)厝コ毯托迯?fù)旋轉(zhuǎn)刀片，使旋轉(zhuǎn)刀片與兩個端蓋之間的間隙約為0.015毫米。

然后用Versand擦拭旋轉(zhuǎn)刀片和轉(zhuǎn)子槽，使兩者平滑平行。最后，按照五件式組合泵的組裝方法進行組裝，然后使用反向組裝方法（圖4-3）確保上切點之間的歐洲調(diào)整范圍為0.01?0.005 mm。擰緊固定螺栓后，使用蟲膠溶液在泵的外部接頭上涂幾遍。當然，在組裝之前，應(yīng)通過刮擦和磨削使每個部件的密封表面變平，較好彼此實現(xiàn)光學(xué)配合。組裝完成后，將紫膠漆液干燥，然后泵送油。較終，由熱電偶真空計測量的泵端口的真空度達到了92格（4×10-Torr）。抽水兩天后，如果泵油變黑，可以再次更換。真空穩(wěn)定后，送到車間接受。