真空設(shè)備設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)

1.真空設(shè)備的總允許漏率根據(jù)設(shè)備的工藝要求確定，每個(gè)組件的較大允許漏率根據(jù)總漏率確定。

2、初步確定設(shè)計(jì)階段將采用的泄漏檢測(cè)方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試驗(yàn)收的基本原則之一。

3.根據(jù)設(shè)備或部件的較大允許泄漏指標(biāo)，確定設(shè)備的密封、連接方式和整體加工精度，以及能夠滿足要求的動(dòng)態(tài)密封形式。例如，法蘭用金屬或橡膠密封。

4設(shè)計(jì)容器結(jié)構(gòu)強(qiáng)度時(shí)，應(yīng)考慮被檢件的耐壓性和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

5.在選擇零件結(jié)構(gòu)材料時(shí)，考慮是否使用可能被工作介質(zhì)和泄漏氣體腐蝕損壞的材料。

6.在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，應(yīng)在容器或系統(tǒng)上留下必要的泄漏檢測(cè)儀器備用接口，以便在設(shè)備組裝和調(diào)試過程中使用泄漏檢測(cè)。特別是對(duì)于大型復(fù)雜的管道系統(tǒng)，通常需要采用分段泄漏檢測(cè)方法。因此，應(yīng)在管道上設(shè)置分段隔離閥，并在每個(gè)隔離段上預(yù)留泄漏檢測(cè)儀器接口。

7、在設(shè)計(jì)零件結(jié)構(gòu)時(shí)，盡量避免使用可能干擾泄漏檢測(cè)的設(shè)計(jì)方案。例如，真空室內(nèi)的螺釘孔不能采用盲孔的形式，因?yàn)槁葆敯惭b后，螺釘孔內(nèi)剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛擬泄漏。從而延長(zhǎng)系統(tǒng)的排氣時(shí)間，干擾泄漏檢測(cè)的正常進(jìn)行。如圖所示，真空泄漏檢測(cè)中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。

8.類似地，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中不允許連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因?yàn)榧纳w積中的氣體在中間形成虛擬泄漏；當(dāng)內(nèi)外焊縫或密封圈同時(shí)泄漏時(shí)，寄生體積使泄漏氣體通過雙層焊縫響應(yīng)時(shí)間過長(zhǎng)，無 常檢漏。

9.在設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu)時(shí)，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。