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IPA霧化干燥機是什么

來源：www.tyty66.com  |  發布時間：2025年03月05日
IPA 霧化干燥機是一種主要應用于晶圓加工等領域的干燥設備，利用異丙醇（IPA）的特性來實現干燥功能，以下是具體介紹：
1.工作原理：采用加熱異丙醇形成氣霧，與惰性氣體一起對晶圓表面的水分子進行吸附，再通過加熱使得異丙醇揮發，從而實現對晶圓的清理干燥。在干燥時，首先晶圓處于被夾持的靜止狀態，IPA 霧化劑噴射到晶圓的表面，由于 IPA 霧化劑具有較強的高分子作用力，IPA 霧化劑能進入到晶圓表面的微孔中，將其中的水分帶出，進而達到干燥的目的。
2.技術優勢：相比于傳統的如甩干與慢提拉等晶圓干燥技術，IPA 霧化干燥技術能夠有效避免晶圓破碎的問題發生，對晶圓起到更好的保護作用，提高晶圓加工的良品率。

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